Размещение завершено
Признана несостоявшейся Нет допущенных участниковНаименование | Кол-во | Цена за ед. | Стоимость, ₽ |
---|---|---|---|
Поставка многофункционального оборудования для реализации реактивных процессов формирования слоев оксидов и диэлектриков на базе вакуумной магнетронной напылительной системы для формирования слоев оксидов в рамках программы Правительства Московской области "Развитие инновационного территориального кластера "Кластер ядерно-физических и нанотехнологий в г. Дубне" на 2013-2015 годы".
Состав оборудования:
1. Водохлаждаемая вакуумная камера D-типа, электрополированная.
2. Турбомолекулярный насос с производительностью.
3. Ввод вращения с уплотнением магнитной жидкостью.
4. Резистивные термоиспарители.
5. Датчики давления.
6. Контроллер толщины пленки.
7. Двухканальный газовый натекатель c графическим дисплеем для удаленного управления.
ОКПД 29.12.31.320 Насосы вакуумные, используемые в производстве полупроводников |
░░░░░ | ░░░░░ | ░░░░░ |
Протокол о признании электронного аукциона несостоявшимся
от 09.10.2014 13:27 (мск)