7499090 Коммерческие и технические услуги прочие, не включенные в другие группировки
Требования к участию
Первая часть заявки. Качество, технические характеристики товара, работ, услуг.
Подложки кремния должны быть высокоомными (> 10 Ком*см) и иметь диаметр 33-36мм (1.4 дюйма).
Требования к качеству и техническим характеристикам
Концентрация дефектов параллельно оси роста (дислокации несоответствия) должна быть менее 107 см-2.
Полуширина рентгеновской кривой качания должна быть менее 20 arcmin.
Рентгеноструктурный анализ должен выявлять низкодефектный кубический карбид кремния.
Толщина нанослоев карбида кремния должна лежать в интервале 100-200 нм.
Эллипсограммы (зависимость диэлектрической проницаемости от энергии фотонов) должны соответствовать пленкам карбида кремния на кремнии с объемной долей примесей не более 5%.
На электронограммах образцов должны присутствовать Кикучи-линии, отвечающие монокристаллической структуре карбида кремния.