Размещение завершено
выполнение работ по осаждению бездефектных эпитаксиальных нанослоев карбида кремния на кремнии
Открытый аукцион в электронной форме
№ ░░░░░░░░░░░░░░░░░░░
опубликован 02.11.2011 14:59 (мск)
перейти на ЭТП
Начальная цена контракта
649 000,00
₽
Порядок размещения
время МСК
94-ФЗ, Открытый аукцион в электронной форме,
перейти на ЭТП
Подача заявки
до 09.11.2011 09:00
Рассмотрение первых частей заявки
16.11.2011
Дата проведения открытого аукциона
21.11.2011 11:26
Документы
Заказчик
░░░░░░░░░░ ░░░░░░░░░░ ░░░░░░░░ ░░░░ ░░░░░░░░ ░░░░░░░ ░░░░░░░░░░░░░ ░░░
ИНН-КПП
░░░░░░░░
– ░░░░░░░░
Время поставки
в течение 2-х недель со дня подписания контракта
Место поставки
░░░░░░░░
Начальная цена контракта
649 000,00
₽
Обеспечение заявки
12 980,00
₽
200 образцов
Объекты закупки
ОКДП
7499090 Коммерческие и технические услуги прочие, не включенные в другие группировки
Требования к участию
Первая часть заявки. Качество, технические характеристики товара, работ, услуг.
выполнение работ по осаждению бездефектных эпитаксиальных нанослоев карбида кремния на кремнии
- Требования к качеству и техническим характеристикам
-
- Концентрация дефектов параллельно оси роста (дислокации несоответствия) должна быть менее 107 см-2.
- На электронограммах образцов должны присутствовать Кикучи-линии, отвечающие монокристаллической структуре карбида кремния.
- Эллипсограммы (зависимость диэлектрической проницаемости от энергии фотонов) должны соответствовать пленкам карбида кремния на кремнии с объемной долей примесей не более 5%.
- Подложки кремния должны быть высокоомными (> 10 Ком*см) и иметь диаметр 33-36мм (1.4 дюйма).
- Полуширина рентгеновской кривой качания должна быть менее 20 arcmin.
- Рентгеноструктурный анализ должен выявлять низкодефектный кубический карбид кремния.
- Толщина нанослоев карбида кремния должна лежать в интервале 100-200 нм.