Размещение завершено
Наименование | Кол-во |
---|---|
Основной блок системы электронно-лучевой литографии JBX-8100FS (или аналог) | ░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░ |
Метрологическая система предварительной юстировки пластин PAMS-1006B (или аналог) | ░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░ |
Источник электронов с полевой эмиссией (электронная пушка) | ░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░ |
Эксикатор кабинет 1-2987-04 (внутренний объем 272х260х370 мм) | ░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░ |
Плазменный очиститель TERGEO-PLUS (или аналог) с безмасляным насосом в комплекте (150 Ватт, 13,56 МГц, внутренний диаметр камеры 160 мм, глубина 280 мм) | ░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░ |
Монтаж, пуско-наладочные работы; тестирование; ввод в эксплуатацию и инструктаж персонала Заказчика, включая обучение работе на системе электронно-лучевой литографии для пятерых человек | ░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░ |
Расширенная гарантия | ░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░░ |
72.19.21
Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области нанотехнологий