Поставка комплектующих для разработки и изготовления автоматизированной установки для плазмохимического травления алюминия с системой самотестирования и двухуровневой аварийной защитой (11 комплектующих). Поставка комплектующих осуществляется в рамках исполнения НИОКРТ «Разработка и серийное освоение 3D и планарной технологии производства карбидкремниевых полупроводниковых приборов» по комплексному проекту «Создание технологической линии, разработка и серийное освоение на ее базе карбидкремниевых 3D и планарной технологий» № 1531/П218 от 30.12.2015 г. (ч.3, п. 39 главы 7 Положения о закупке товаров, работ, услуг ФГБОУ ВПО «Брянский государственный технический университет»).

Поставка комплектующих для разработки и изготовления автоматизированной установки для плазмохимического травления алюминия с системой самотестирования и двухуровневой аварийной защитой.