117-Выполнение составной части прикладных научно-исследовательских работ по теме: «Доработка технологического маршрута изготовления тестовых образцов свободновисящих пленок бериллия. Изготовление и проведение исследовательских испытаний тестовых образцов свободновисящих пленок бериллия, изготовленных по доработанному технологическому маршруту. Проведение оптимизации параметров электронного пучка и состава мишени по результатам исследований конверсии энергии электронного пучка в мягкое рентгеновское излучение. Разработка технологического маршрута и отработка операций технологического маршрута изготовления тестовых образцов пленок бериллия, нанесенных на локально утоненные кремниевые пластины. Изготовление тестовых образцов пленок бериллия, нанесенных на локально утоненные кремниевые пластины. Разработка Программы и методик исследовательских испытаний и проведение исследовательских испытаний тестовых образцов пленок бериллия, нанесенных на локально утоненные кремниевые пластины. Разработка ЭКД на стенд рентгеновского микроскопа. Расчёт рентгенооптической схемы и изготовление проекционного объектива для стенда рентгеновского микроскопа» по этапу 2.

Выполнение СЧ ПНИР по теме «Доработка технологического маршрута изготовления тестовых образцов свободновисящих пленок бериллия. Изготовление и проведение исследовательских испытаний тестовых образцов свободновисящих пленок бериллия, изготовленных по доработанному технологическому маршруту. Проведение оптимизации параметров электронного пучка и состава мишени по результатам исследований конверсии энергии электронного пучка в мягкое рентгеновское излучение. Разработка технологического маршрута и отработка операций технологического маршрута изготовления тестовых образцов пленок бериллия, нанесенных на локально утоненные кремниевые пластины. Изготовление тестовых образцов пленок бериллия, нанесенных на локально утоненные кремниевые пластины. Разработка Программы и методик исследовательских испытаний и проведение исследовательских испытаний тестовых образцов пленок бериллия, нанесенных на локально утоненные кремниевые пластины. Разработка ЭКД на стенд рентгеновского микроскопа. Расчёт рентгенооптической схемы и изготовление проекционного объектива для стенда рентгеновского микроскопа» по этапу 2