Размещение завершено
Выполнение моделирования согласно Приложению №1 к Закупочной документации
Наименование |
---|
Математическое моделирование и оптимизация конструкции экспериментального и опытного образца реактора субатмосферного осаждения оксида кремния (TEOS/O3) на пластинах диаметром до 300 мм в микроэлектронном производстве уровня 65 нм |